一、工作原理
臭氧監測儀的工作原理主要基于臭氧分子的化學和物理性質，其檢測原理有多種，包括但不限于：
電化學法：通過臭氧與電極材料發生氧化還原反應，產生與臭氧濃度成正比的電信號。
紫外線吸收法：利用臭氧對特定波長紫外線的強烈吸收特性（臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有最大吸收系數），通過測量紫外線強度的變化來推算臭氧濃度。這種方法需要穩定的紫外燈光源產生紫外線，并使用光波過濾器過濾掉其他波長紫外光。樣品經過臭氧吸收池后，通過比較樣品光電傳感器和采樣光電傳感器的電信號，再經過數學模型的計算，得出臭氧濃度。
光離子化法：利用臭氧分子在高能紫外光照射下發生電離，產生的離子電流與臭氧濃度成正比。
二、主要構成
臭氧監測儀主要由以下部件構成：
低壓紫外燈：產生穩定的紫外光源。
光波過濾器：過濾掉其他波長的紫外光，只允許特定波長的紫外光通過。
入射紫外光反射器：反射紫外光以提高檢測效率。
臭氧吸收池：供臭氧分子吸收紫外線的場所。
光電傳感器：將光信號轉換為電信號。
電路部件：包括電源、紫外燈控制、信號放大、濾波、對數放大器、模擬輸出及顯示等部分。
